日立SU8010超高分辨扫描 / 扫描透射电子显微镜（SEM / STEM）

1. 仪器简介

仪器配置了用于观察样品内部信息的STEM附件。二次电子观察样品最表面形态，明场（BF）STEM观察晶体Z衬度，暗场（DF）STEM观察Z衬度（原子序数效应）。

（1）厂家型号

① 国别厂家：日本日立公司

② 型号：SU8010

（2）主要技术特点

① 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

② Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

③ 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

④ 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

⑤ 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

（3）主要技术指标

① 低加速电压，高分辨率

② 减轻荷电影响的SE/BSE信号可变功能

③ SU8000系列的通用控制系统GUI

④ 配备了STEM功能附件

（4）功能附件

① X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，探测元素范围Be⁴-U⁹²

② 扫描透射电子显微镜探头，即STEM，检测样品的透射像

③ 离子溅射仪，可喷Au、喷Pt，用于样品导电处理

1. 送样要求

2. 干燥的固体样品

3. 样品无磁性、无挥发性、无腐蚀性、放射性等对设备和人员产生损害的样品

4. 上述①②两项必须同时具备，方可测试

5. 放置地点/联系方式

   武汉市鲁磨路388#1929cc威尼斯东区学海楼115实验室

   联系人：王老师 Tel：181-4066-6868

6. 收费标准

按照学院规定的相关收费标准据实收取